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      CVD氣相沉積爐
       

      CVD氣相沉積爐

      化學氣相沉積爐應用領域

      化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。

      化學氣相沉積爐產品規格

      產品型號/規格W×H×L(mm)

      600*600*1000

      800*800*1200

      1000*1000*1500

      1200*1200*2500

      1500*1500*3000

      2500*2000*3600

      裝載重量(KG)

      350

      800

      1500

      2500

      5000

      10000

      最高溫度()

      1500

      1500

      1500

      1500

      1500

      1500

      溫度均勻性()

      ±7.5

      ±7.5

      ±7.5

      ±10

      ±10

      ±15

      加熱功率(kw)

      250

      360

      480

      600

      900

      1200

      極限真空度(Pa)

      20

      20

      20

      20

      20

      20

      壓升率(Pa/h)

      0.67

      0.67

      0.67

      0.67

      0.67

      0.67

      以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

      化學氣相沉積爐主要配置

      爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

      爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

      爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC

      加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

      工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產

      真空泵和真空計---進口/國產

      PLC:歐姆龍/西門子

      控溫儀表:日本島電/英國歐陸

      熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

      記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產

      人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機

      電器元件:正泰/施耐德/西門子

      料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車

      化學氣相沉積爐技術特征

      本化學氣相沉積爐最大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;

      本化學氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

      本化學氣相沉積爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

      本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

      本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。

       

       

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